超精密磨削要求的加工品質(zhì)和砂輪的要素

作為超精密磨削加工用砂輪多使用微粒金剛石砂輪，除鏡面磨削用途外，也可作為手機、數碼相機等ф200以下的小型非球面透鏡成型模具加工用砂輪。這些模具由于是用作光學(xué)玻璃的熱壓成型，大多是硬質(zhì)合金和工程陶瓷制成的。另外，也在進(jìn)行著(zhù)用微爛金剛石和工程陶瓷制成的。另外，也在進(jìn)行著(zhù)用微粒金剛石砂輪進(jìn)行磨削加工直接獲得非球面透鏡的試驗。這些磨加工所使用的金剛石粒度目前多為1500~3000#左右，可獲得形狀精度0.1微米以下，表面粗糙度Ry40mm左右的加工精度。這些作為要求精度不太高的民生用光學(xué)透鏡的磨削已達到實(shí)用化，可尚未達到要求更高精度的大型非球面透鏡的要求精度。

　　今后對微粒金剛石砂輪要求的要素，需對超微金剛石磨料作固定磨粒使用時(shí)的磨粒特性進(jìn)行研究。另外，其基本要素要考慮構成微粒金剛石砂輪的磨粒、結合劑、填料等各個(gè)原料，不陰礙健全地磨削加工，高精度的均勻分散技術(shù)的開(kāi)發(fā)也很重要。

　　超精密加工用磨床的現狀可說(shuō)是最小切入設定值幾年前100nm為極限，可最近已制出更高精度的最小分辨能為1nm，象限也調整到最小限度的磨床。雖然以往一直制造著(zhù)粒度6000#以上的微粒金剛石砂輪，可在最小切入設定值100nm的磨床上尚未得出超微或近似超微粒金剛石砂輪的整形、修整及進(jìn)行健全磨削的加工條件。今后，在更高精度磨床上的實(shí)用例會(huì )不斷出現，加強微粒金剛石砂輪的規格和加工條件等的研究及推進(jìn)其實(shí)用化。以下就正在實(shí)用化的超精密磨削用樹(shù)脂結合劑砂輪的加工實(shí)例及作為使用技術(shù)所必要的整形、修整方法加以論述。